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宜春仪器零点校正

author:专业第三方计量检测机构

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time:2019-08-27 09:38:00

在小角度检查仪左、右两端的指示计安装架中,分别装上接触式光干涉仪,并将事先经过精确调整或加工的孔距为50±0.02mm的夹具,装在接触式干涉仪上。在夹具左端的孔中装上被标定测微仪的传感器,经调整,使传感器测头轴心线端点与接触式干涉仪测头顶点在同一条直线上,且和桥形工作台纵向对称中线相重合,安装结果如图1-1所示。小角度检查仪经过上述调整,构成了50:500即1:10的杠杆机构借助框式水准器,调整桥形工作台使其台面基本水平。根据被标定测微仪的实际情况确定受检点的数值,以此为依据选用相应尺寸和等级的量块,如检定量程为±10mm的精密电容式测微仪时,则选用1,1.005和1010mm的量块。为使接触式干涉仪定位可靠,再选用一块不低于5等的1mm量块。

分别将两块lm量块,椎入接触式干涉仪测头下面对零,将作为电容传感器测量极板的标准量块推入被标定传感器测头的下面,上下移动传感器测头调整好初始间隙,将电容式测微仪的输出显示调整到零。然后在小角度仪的右端推入1.005mm量块,换掉其接触式千涉仪下面|哪的量块,同时用右端的升降机构调整桥形工作台,使接触式干涉仪重新指示为零,这时读取电容测微仪的显示值。用同样方法,推入1010mm的量块更换掉干涉仪下面1.005mm的量块,以检定10mm的受检点。这样我们对精密电容测微仪的正量程就完成了标定。这时用1.010mm的量块对电容测微仪进行调零005mm和1m的量块分别检定电容测微仪-5mm和-10mm的受检点。通过上述两个步骤可对被检测微仪完成一次标定。

当然对于被检定的测微系统的准确度和测量范围的不同,其受检的点数和受检的范围也各不相同,但其标定的方法完全一样。各受检点的测得值与受检点的标称值之最大差值,即测量范围内的示值误差,其误差不得超过测微系统的允许值。采用此方法也可以对同等准确度的激光干涉仪或同等准确度的其它计量器具进行标定。从上面的论述可以看出,采用这种装置和标走方法对被检测微系统的标定,其标定的准确度不仅取决于标定量块的精度等级,而且与小角度检查仪两端的干涉仪的准确度、小角度检查仪右端的升降机构的调整精度都密切相关。用这种方法标定的测微系统的精度最高可达0.02um,完全可以满足许多测微系统的要求,但对超精密测微系统采用此方法进行标定,其精度很难满足测微系统精度的需要。

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